OLED基板清洗模組

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廠牌(供應商):大河科技有限公司
描述

用途/功能
建置OLED照明關鍵製程整合計劃所需之玻璃基板清洗模組,含可程式旋轉台、多尺寸承載盤、氮氣烘乾模組、水系清洗劑自動清洗模組、有機溶液自動清洗模組及自動刷洗模組、廢液回收分流模組、超音波噴頭自動清洗模組

重要規格
含可程式旋轉台.除塵能力為0.12µm微粒99.9995 %以上;多尺寸承載盤.定位固定點,具抗酸鹼功能定位固定點為PEEK材質昇降達及減速機承盤* 1 for 4*4cm;水系清洗劑自動清洗模組:鹼性清潔液用噴頭錶頭壓力範圍為0~10kg 20x20cm基板清洗後,以顯微鏡放大倍率400x,可觀察到particle > 2µm,25點, 零particle檢出;氮氣烘乾模組:具氮氣加熱器,可加熱,溫度可調,加熱範50 ~ 75℃具模組及具自動擺動手臂;有機溶液自動清洗模組及自動刷洗模組;具自動擺動手臂,可設定擺臂行程,擺臂幅度0度;廢液回收分流模組:廢液回收桶3 桶氣動分流閥及分流回收管路配置及超音波噴頭自動清洗模組:超音波噴頭,可設定液體及氣體壓力超音波產生器。