狹縫式塗佈設備(ntact)

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廠牌(供應商):FAS Holdings Group LLC.
描述

用途/功能
本設備用途是在開發採用溶液製程的OLED照明(有機EL)大面積模組,用狹縫式塗佈頭使用各種材料來進行塗佈製程

重要規格
花崗石台平整度為士22 pm;基板大小使用範200mm×200mm厚度 0.7mm;可塗佈膜厚範圍75mm (dry film);手套箱之水氧值水氧值均<0.1ppm;壓力設定設定壓力自動定壓(士15mbar),塗佈膜厚(平均)以PEDOT為ink ,於更之膜厚條件下(平均76與78nm),均勻度均在土5.0%內;塗佈膜厚不均性四邊10mm區域之膜厚均在73-81 nm內,均介於平均膜厚之5nm變化量